硅片研磨后的研磨液如何维护保养

在集成电路封装制作过程中会对硅片晶片进行切割和研磨，并且会运用超纯水进行洗净，这样就产生了的切割研磨废水。目前

国内很多的厂家离心过滤方法处理的，剩余研磨液同时延长一定的使用寿命。包含如下步骤：

（1）通过搜集箱搜集硅片研磨后的研磨液；

（2）应用水泵将研磨液泵入全自动排渣尽力进行离心过滤；

（3）过滤后的研磨液回到水池循环往复；

（4）离心产生的硅粉自动结块附着在离心机内，通过排渣装置自动排出；

以上是丰亚达环保为大家带来的半导体研磨液处理的内容。